檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "濺鍍法".ckeyword (精準) and year="98"
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本研究開發氧化矽閘極絕緣膜及多晶矽膜之低溫濺鍍沉積技術,以利塑膠基板上薄膜電晶體之製作。此外,我們利用準分子雷射退火技術實現鍺膜之超級橫向成長,並觀察此長晶現象。本研究在室溫下藉由脈衝直流磁控反應性…
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本研究利用傳統固態反應法並藉由添加不同混合比例的氧化鑭 (La2O3) 或氧化釤 (Sm2O3) 製備含鑭及含釤之鈦酸鋇靶材,主要以添加物的混合莫爾比例來區分,依序為1%La、3%La、5%La、7…